特种气体是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体种类繁多,通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等。
其中,电子气体是特种气体的一个重要分支,它是指半导体工业用的气体统称,是发展集成电路、光电子、微电子等产业过程中不可缺少的基础性支撑源材料,被称为电子工业的“血液”和“粮食”。电子气体主要可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。
此外,标准气体主要用于监测和校准,如环保类标准气体和医药卫生标准气体。高纯气体则用于钢铁、化工、电力、金属加工等传统工业领域。
以上只是特种气体的一部分,实际上特种气体的种类非常多,且在不同领域中有不同的应用和需求。
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